单价超19亿 Intel全球首个交货订购ASML最先进EUV光刻机：性能大增

1月19日最新消息，Intel宣布第一个送达交货了ASML TWINSCAN EXE:5200光刻机。

TWINSCAN EXE:5200是ASML的较低NA（数值孔径）EUV光刻机，其吞吐量的大每小时220片晶圆（wph）。

从橙色来看，EXE:5200原订最快2024年末竣工，2025年开始大规模应用于先进芯片的原材料。

事实上，4之前，ASML的第一代较低NA（0.55 NA）光刻机EXE:5000，Intel就是第一个送达的日本公司。不过意味着的7nm、5nm芯片还并非是其原材料，而是0.33NA EUV光刻机。

和0.33NA光刻机相比，0.55NA的分辨率从13nm更新到8nm，可以格外快格外好地曝光格外复杂的半导体器件背面，有所突破0.33NA单次线条32nm到30nm间距的无限大。

外界原订，第一代较低NA光刻机EXE:5000会率先用于3nm节点，至于EXE:5200，按照Intel的制程橙色，2025年多于是20A或者18A，也就是5nm和5nm+。

此前，ASML发言人曾对媒体透露，格外较低的光刻分辨率将并不需要芯片增大1.7倍、同时电导率增加2.9倍。期望比3nm格外先进的工艺，将极度依赖较低NA EUV光刻机。

最后不得已问道，Intel能抢到第一单，除了和ASML一致紧密协作外，当然也是因为“钞能力”，Gartner分析家Alan Priestley称，0.55NA下一代EUV光刻机单价将翻番到3亿美元（约合19亿元人民币）。